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发明名称 High frequency wave heated plasma mass filter
摘要
申请公布号 EP1458008(A3) 申请公布日期 2005.07.27
申请号 EP20040075745 申请日期 2004.03.08
申请人 ARCHIMEDES OPERATING, LLC 发明人 FREEMAN, RICHARD L.;MILLER, ROBERT L.;GILLELAND, JOHN;OHKAWA, TIHIRO
分类号 H05H1/46;H01J27/18;H01J37/08;H01J49/38;H01J49/42;(IPC1-7):H01J49/42 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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