薄膜形成装置和方法、液晶装置的制造装置和方法

摘要

本发明是一种通过在基板上涂敷在溶剂中溶解或分散了膜材料而配制成的涂敷液，而形成薄膜的薄膜形成装置(1)。包含：具有向基板(SUB)上喷出涂敷液(L)的液滴喷出头(2)的喷出机构；能使该液滴喷出头(2)和基板(SUB)的位置相对移动的移动机构(4)；控制喷出机构和移动结构(4)的至少一方的控制部(C)。具有向涂敷在基板(SUB)上的涂敷液的附近供给溶剂蒸汽的溶剂蒸汽供给机构(5)。从而，通过采用液滴喷出头而控制了材料的浪费，并且可形成全体厚度均匀的薄膜。另外，本发明还提供了薄膜形成方法、液晶装置的制造装置和液晶装置的制造方法及薄膜构造体的制造装置和薄膜构造体的制造方法和薄膜构造体。

主权项

1.一种薄膜形成装置，在基板上涂敷在溶剂中溶解或分散膜材料而形成的涂敷液，形成薄膜，其特征在于：它包含：具有向所述基板上喷出所述涂敷液的液滴喷出头的喷出机构；能使该液滴喷出头和所述基板的位置相对移动的移动机构；控制所述喷出机构和所述移动机构的至少一方的控制部；向涂敷在所述基板上的涂敷液的附近供给溶剂蒸汽的溶剂蒸汽供给机构，所述溶剂蒸汽供给机构供给溶剂蒸汽，使供给的溶剂蒸汽的浓度在周边部比涂敷在基板上的涂敷液的中央部更高。