可移动元件的多向扫描和其离子束监测设备

摘要

本发明公开一种半导体处理装置，该装置提供衬底或晶片夹持器(180)的扫描臂(60)在至少两个通常正交方向(所谓X－Y扫描)上的移动。在第一方向上的扫描是纵向穿过在真空室壁上开口(55)。臂(60)通过一个或多个直线式电动机(90A、90B)往复运动。臂(60)使用万向空气轴承相对于滑片(100)支撑，以便于为臂相对于滑片(100)提供悬臂支撑。用于臂(60)的进入真空室的适应性穿通装置(130)然后作为真空密封和导引，但其自身不需要提供轴承支撑。法拉第(450)被连接到邻近衬底夹持器(180)的臂(60)，以允许在注入之前和过程中实现射束分布的确定。法拉第(450)可以替代地或另外地被安装邻近所述衬底夹持器的后部或与其成90°，并且所述衬底支撑被颠倒或水平并脱离射束线，以允许在注入之前实现射束分布的确定。

主权项

1.一种半导体处理装置，包括：真空室，具有在其上确定开口的室壁；长形元件，延伸穿过所述室壁上的所述开口，并在纵向上可移动地穿过所述室壁；长形元件驱动器，被布置来使所述长形元件在所述纵向上往复运动；所述真空室外部的托架，用来支撑所述长形元件和驱动器；以及托架驱动器，被布置来使所述托架在通常垂直于所述可移动的长形元件的往复运动方向的方向上往复运动。