| 发明名称 |
Thin film forming apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1536036(A3) |
申请公布日期 |
2005.07.27 |
| 申请号 |
EP20040026917 |
申请日期 |
2004.11.12 |
| 申请人 |
SHARP KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
OKADA, HIDEO;IMANAKA, TAKAO |
| 分类号 |
C03C17/00;C03C17/25;C23C18/02;(IPC1-7):C23C18/02 |
主分类号 |
C03C17/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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