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发明名称 High-power pulsed magnetically enhanced plasma processing
摘要
申请公布号 EP1556882(A2) 申请公布日期 2005.07.27
申请号 EP20030776584 申请日期 2003.10.28
申请人 ZOND, INC. 发明人 CHISTYAKOV, ROMAN
分类号 H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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