发明名称 PLASMA GENERATING SYSTEM HAVING A DIVIDED RF POWER
摘要
申请公布号 KR100504044(B1) 申请公布日期 2005.07.27
申请号 KR20020080436 申请日期 2002.12.16
申请人 发明人
分类号 H05H1/36;(IPC1-7):H05H1/36 主分类号 H05H1/36
代理机构 代理人
主权项
地址
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