铁电薄膜的化学液相交替沉积方法

摘要

铁电薄膜的化学液相交替沉积方法，涉及一种铁电薄膜沉积技术。本发明在基底材料上交替涂覆前驱体溶液，利用层间合成反应制备铁电薄膜。本发明的有益效果是，因为每次旋涂得到薄层很薄，在纳米级，并且第一个薄层热处理后得到的晶粒粒径很小，只有十几个纳米，尺度在纳米级的薄层化学活性很高，所以可以降低热处理温度。本技术与传统方法相比，最高热处理温度要低 100℃。而且采用本发明，制备薄膜的速度可以大为提高。

主权项

1、铁电薄膜的化学液相交替沉积方法，其特征在于，在基底材料上交替涂覆前驱体溶液，利用层间合成反应制备铁电薄膜。