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发明名称 Method and apparatus for controlling a fabrication process based on a measured electrical characteristic
摘要
申请公布号 GB2410377(A) 申请公布日期 2005.07.27
申请号 GB20050005102 申请日期 2003.09.19
申请人 * ADVANCED MICRO DEVICES, INC 发明人 ROBERT J * CHONG;JIN * WANG
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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