发明名称 |
使用激光烧蚀形成电子和光学元件的方法 |
摘要 |
提供了形成电子和/或光学元件的方法。该方法包括:(a)提供具有聚合物层的电子基板,其中该聚合物层包含具有式(R<SUP>1</SUP>SiO<SUB>1.5</SUB>)的单元的聚合物,其中R<SUP>1</SUP>是取代或未取代有机基团;和(b)通过激光烧蚀除去聚合物层的选定部分。本发明在电子和光电子产业中具有特别的应用。 |
申请公布号 |
CN1645988A |
申请公布日期 |
2005.07.27 |
申请号 |
CN200410082138.7 |
申请日期 |
2004.12.21 |
申请人 |
罗姆和哈斯电子材料有限责任公司 |
发明人 |
M·L·莫伊尼汉;C·J·科兰格洛;J·G·谢尔诺特;B·M·西卡德;N·帕格里诺 |
分类号 |
H05K3/06;H05K3/00 |
主分类号 |
H05K3/06 |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
蔡胜有 |
主权项 |
1.形成电子和/或光学元件的方法,该方法包括:(a)提供包含聚合物层的电子基板,其中该聚合物层包含含有式(R1SiO1.5)的单元的聚合物,其中R1是取代或未取代有机基团;和(b)通过激光烧蚀除去聚合物层的选定部分。 |
地址 |
美国马萨诸塞 |