发明名称 使用激光烧蚀形成电子和光学元件的方法
摘要 提供了形成电子和/或光学元件的方法。该方法包括:(a)提供具有聚合物层的电子基板,其中该聚合物层包含具有式(R<SUP>1</SUP>SiO<SUB>1.5</SUB>)的单元的聚合物,其中R<SUP>1</SUP>是取代或未取代有机基团;和(b)通过激光烧蚀除去聚合物层的选定部分。本发明在电子和光电子产业中具有特别的应用。
申请公布号 CN1645988A 申请公布日期 2005.07.27
申请号 CN200410082138.7 申请日期 2004.12.21
申请人 罗姆和哈斯电子材料有限责任公司 发明人 M·L·莫伊尼汉;C·J·科兰格洛;J·G·谢尔诺特;B·M·西卡德;N·帕格里诺
分类号 H05K3/06;H05K3/00 主分类号 H05K3/06
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 蔡胜有
主权项 1.形成电子和/或光学元件的方法,该方法包括:(a)提供包含聚合物层的电子基板,其中该聚合物层包含含有式(R1SiO1.5)的单元的聚合物,其中R1是取代或未取代有机基团;和(b)通过激光烧蚀除去聚合物层的选定部分。
地址 美国马萨诸塞