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发明名称 METHOD OF CLEANING ION SOURCE, AND CORRESPONDING APPARATUS/SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1556879(A2) 申请公布日期 2005.07.27
申请号 EP20030809578 申请日期 2003.10.20
申请人 GUARDIAN INDUSTRIES CORP.;ADVANCED ENERGY INDUSTRIES, INC. 发明人 ADVANCED ENERGY INDUSTRIES, INC.;LUTEN, HENRY, A.;VEERASAMY, VIJAYEN, S.;FRATI, MAXIMO;SHAW, DENISE, R.
分类号 H01J27/02;H01J27/08;H01J27/14;(IPC1-7):H01J27/02;H01J37/08;H01J37/32 主分类号 H01J27/02
代理机构 代理人
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