整体式三自由度微纳操作器

摘要

本发明公开了一种整体式三自由度微纳操作器，包括基板、压电陶瓷驱动器和平面运动机构，平面运动机构上还串联一个垂直运动机构，所述平面运动机构和垂直运动机构是与基板一体相连的整体式结构，其中的连接点均为整体式柔性铰链，且基板的上下平面高出平面运动机构的上下平面。本发明中的运动机构都是与基板一体的整体式结构，外形扁平化，结构紧凑，体积小，无需装配，避免了装配误差，运动精度高。本发明的操作器能够实现三维空间运动，可应用于在微型机械零件装配、微机电系统组装、超精密加工、光学调整、微外科手术、生物细胞操作等领域。

主权项

1.一种整体式三自由度微纳操作器，包括基板(4)、压电陶瓷驱动器(1)和平面运动机构(3)，平面运动机构(3)上还串联一个垂直运动机构(2)，其特征在于：所述平面运动机构(3)和垂直运动机构(2)是与基板(4)一体相连的整体式结构，其中的连接点均为整体式柔性铰链，且基板(4)的上下平面高出平面运动机构(3)的上下平面。