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发明名称 METHOD FOR REMOVING ANTI-REFLECTION FILM AND MULTI-LAYER IN CLUDING THAT USED IN MANUFACTURING SEMI-CONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 KR100505602(B1) 申请公布日期 2005.07.26
申请号 KR19980016992 申请日期 1998.05.12
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 JUNG, SANG SEOP;SHIN, GYEONG SEOP;LEE, WON SEOK
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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