发明名称 TRENCH ISOLATING METHOD
摘要
申请公布号 KR100505604(B1) 申请公布日期 2005.07.26
申请号 KR19980019486 申请日期 1998.05.28
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 AHN, DONG HO
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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