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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 KR20050076614(A) 申请公布日期 2005.07.26
申请号 KR20050002971 申请日期 2005.01.12
申请人 SONY CORPORATION 发明人 KANAMURA RYUICHI
分类号 H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/4763;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
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