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发明名称 ONE CHIP GAS SENSOR FOR DETECTING MULTI GASES FABRICATED OVER MICRO CAVITY AND FABRICATING METHOD OF THE SAME
摘要
申请公布号 KR20050076101(A) 申请公布日期 2005.07.26
申请号 KR20040003909 申请日期 2004.01.19
申请人 KIM, CHANG KYO;LEE, JOO HUN 发明人 KIM, CHANG KYO;LEE, JOO HUN;JOO, YOUNG CHEOL;PARK, JI HWANG
分类号 G01N27/14;(IPC1-7):G01N27/14 主分类号 G01N27/14
代理机构 代理人
主权项
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