发明名称 SEMI-INSULATING DIFFUSION BARRIER FOR LOW-RESISTIVITY GATE CONDUCTORS
摘要
申请公布号 KR100503837(B1) 申请公布日期 2005.07.26
申请号 KR20010039970 申请日期 2001.07.05
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;H01L29/43;H01L21/28;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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