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发明名称
SEMI-INSULATING DIFFUSION BARRIER FOR LOW-RESISTIVITY GATE CONDUCTORS
摘要
申请公布号
KR100503837(B1)
申请公布日期
2005.07.26
申请号
KR20010039970
申请日期
2001.07.05
申请人
发明人
分类号
H01L21/336;H01L29/43;H01L21/28;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
主权项
地址
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