Sistema e método de alinhamento de substrato

摘要

"SISTEMA E MéTODO DE ALINHAMENTO DE SUBSTRATO". A invenção refere-se a sistemas e métodos para alinhar um substrato com pelo menos um de um primeiro elemento de suprimento de substrato e de um segundo elemento de suprimento de substrato que fornece substratos para uma câmara que recebe a folha fornecida do primeiro elemento de suprimento de substrato e do segundo elemento de suprimento de substrato.