发明名称 PROCESS FOR REMOVING CONTAMINANT FROM A SURFACE AND COMPOSITION USEFUL THEREFOR
摘要
申请公布号 IL146733(A) 申请公布日期 2005.07.25
申请号 IL20000146733 申请日期 2000.05.23
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 发明人
分类号 C11D7/28;C11D3/02;C11D3/20;C11D7/08;C11D7/10;C11D7/26;C11D11/00;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3205;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 C11D7/28
代理机构 代理人
主权项
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