发明名称 METHOD FOR FORMING CAPACITOR OF SEMICONDUCTOR DEVICE TO PREVENT DEVICE CHARACTERISTIC FROM BEING DETERIORATED BY LEAKAGE CURRENT AND BREAKDOWN OF CAPACITOR
摘要
申请公布号 KR100505452(B1) 申请公布日期 2005.07.25
申请号 KR19970077959 申请日期 1997.12.30
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 KIM, MIN SU;LIM, CHAN;LEE, GIL HO
分类号 H01L27/06;(IPC1-7):H01L27/06 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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