| 主权项 |
1.一种液体供应装置,适用以将一液体源输出至一反应室之液体与气泡分离,包括:一缓流舱,具有一流入口连接部连接上述液体源,用以导入上述液体;一超音波流量计,含有一输入部件及一输出部件,上述输入部件用以连接上述缓流舱,用以量测上述液体流速;以及一节流管,具有一输出部、一导气管以及一输入连接部,上述输入连接部与上述超音波流量表之输出部件连接,且上述导气管连结上述缓流舱,用以产生一负压使上述气泡由上述输出部流出。2.如申请专利范围第1项所述之液体供应装置,上述超音波量测计更包括:一流通管,用以提供一流通路径使上述液体流往至上述节流管之输入连接部;两个超音波收发器,相距一固定距离地设置于上述流路中,交替地由一超音波收发器发出一信号通过上述流路至另一超音波收发器;以及一计算单元,用以控制上述两个超音波装置输出上述信号,且根据上述信号由上述超音波收发器至另一超音波收发器所需之时间,计算出流速。3.如申请专利范围第1项所述之液体供应装置,其中上述缓流舱更包括一顶部,上述顶部系为一倒漏斗型状,用以聚集气泡,且上述顶部之至高点与上述导气管连接。4.如申请专利范围第2项所述之液体供应装置,上述上述等气管之管径远小于上述流通管之管径。5.如申请专利范围第2项所述之液体供应装置,上述超音波收发器系由一压电材料所构成之电路,接收一超音波信号产生一对应之电性信号,或是接收一电性信号产生一对应之超音波。6.一种液体供应装置,适用以将一液体源输出至一反应室之液体与气泡分离,包括:一缓流舱,具有一流入口连接部连接上述液体源,用以导入上述液体;一超音波流量计,含有一输入部件、一流通管、一输出部件、两个超音波收发器以及一计算单元,其中上述输入部件用以连接上述缓流舱,用以量测上述液体流速;上述流通管,用以提供一流通路径使上述液体流往至上述节流管之输入连接部;上述两个超音波收发器,相距一固定距离地设置于上述流通管中,交替地由一超音波收发器发出一信号通过上述流通管至另一者;以及上述计算单元,用以控制上述两个超音波装置输出上述信号,且根据上述信号由上述超音波收发器至另一超音波收发器所需之时间,计算出流速;以及一节流管,具有一输出部、一导气管以及一输入连接部,上述输入连接部与上述超音波流量表之输出部件连接,且上述导气管连结上述缓流舱,用以产生下负压使上述气泡由上述输出部流出。7.如申请专利范围第6项所述之液体供应装置,其中上述缓流舱更包括一顶部,上述顶部系为一倒漏斗型状,用以聚集气泡,且上述顶部之至高点与上述导气管连接。8.如申请专利范围第6项所述之液体供应装置,上述导气管之管径远小于上述流通管之管径。9.如申请专利范围第6项所述之液体供应装置,上述超音波收发器系由一压电材料所构成之电路,接收一超音波信号产生一对应之电性信号,或是接收一电性信号产生一对应之超音波。图式简单说明:第1图,为习知超音波流量计之示意图。第2图,为本发明实施例之液体供应装置之示意图。 |
