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发明名称 Halbleiterscheibe mit Kristallgitter-Defekten und Verfahren zur Herstellung derselben
摘要
申请公布号 DE19925044(B4) 申请公布日期 2005.07.21
申请号 DE19991025044 申请日期 1999.05.28
申请人 SILTRONIC AG 发明人 BAUER, THERESIA;BUCHNER, ALFRED;OBERMEIER, GUENTHER;AMMON, WILFRIED VON;HAGE, JUERGEN;OSTERMEIR, RASSO
分类号 C30B29/06;H01L21/26;H01L21/322;H01L29/32;(IPC1-7):H01L29/38;C30B31/00 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
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