Einrichtung zur Konditionierung von Umluft, vorzugsweise von Reinluft

摘要

Zur Konditionierung von Reinluft in der Reinraumtechnik werden Kühler an der Decke zur Kühlung der Umluft angeordnet. Für die Kühler sind Leitungen notwendig, die einen erheblichen konstruktiven Aufwand erfordern und eine Änderung des Deckenlayouts des Reinraumes erschweren. Außerdem kann durch Leckage der Kühler das Equipment im Reinraum beschädigt werden. DOLLAR A Damit bei konstruktiv einfacher Ausbildung eine optimale Betriebsweise möglich ist, wird ein Teil der Umluft dem Ventilator direkt zugeführt. Der andere Teil der Umluft wird über einen Rückführkanal der Filter-Ventilator-Einheit zugeleitet. DOLLAR A Die Einrichtung wird vorteilhaft zur Konditionierung der Umluft in Reinräumen verwendet.