发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE50203431(D1) 申请公布日期 2005.07.21
申请号 DE20025003431 申请日期 2002.10.29
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 ROGALLI, MICHAEL;REB, ALEXANDER;VOELKEL, LARS;STEGEMANN, MAIK
分类号 G03F7/40;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):G03F7/40;H01L21/321 主分类号 G03F7/40
代理机构 代理人
主权项
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