发明名称 CONTACT STRUCTURE AND PRODUCTION METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR100502126(B1) 申请公布日期 2005.07.19
申请号 KR20010006999 申请日期 2001.02.13
申请人 发明人
分类号 G01R31/26;H01L21/66;G01R1/067;G01R1/073;G01R3/00;H01R13/24;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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