METHOD OF FABRICATING A MICROELECTRONIC DEVICE USING SUPERCRITICAL FLUID,申请号KR20040002754-传众专利搜索

发明名称	METHOD OF FABRICATING A MICROELECTRONIC DEVICE USING SUPERCRITICAL FLUID
摘要
申请公布号	KR20050074844(A)	申请公布日期	2005.07.19
申请号	KR20040002754	申请日期	2004.01.14
申请人	SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.	发明人	HAN, SANG CHEOL;OH, JUN HWAN
分类号	H01L21/3205;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/461;H01L21/768;H01L21/8242;(IPC1-7):H01L21/320	主分类号	H01L21/3205
代理机构		代理人
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