发明名称 METHOD OF FORMING FINE CONTACT HOLE FOR SEMICONDUCOTR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050074761(A) 申请公布日期 2005.07.19
申请号 KR20040002649 申请日期 2004.01.14
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 SUN, JUN HYEUB
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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