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发明名称 SYSTEM AND METHOD FOR CONTROLLING CHEMICAL MECHANICAL POLISHING
摘要
申请公布号 KR20050073891(A) 申请公布日期 2005.07.18
申请号 KR20040002004 申请日期 2004.01.12
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHO, JANG WOO;BOO, JAE PHIL;SUNG, JUNG HWAN;JUNG, KI HONG;SEO, KEON SIK;KIM, MYUNG SEOK
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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