发明名称 METHOD OF MANUFACTURING BIT-LINE BY USING CO2 SNOW JET CLEANING PROCESS
摘要
申请公布号 KR20050073847(A) 申请公布日期 2005.07.18
申请号 KR20040001951 申请日期 2004.01.12
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 HWANG, SANG SOON
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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