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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR UNIFORMIZATING OUTPUT AC LEVEL IN MEMS CAPACITIVE TYPE SENSOR
摘要
申请公布号 KR100501185(B1) 申请公布日期 2005.07.18
申请号 KR20020078224 申请日期 2002.12.10
申请人 发明人
分类号 G01C19/00;G01D5/24;G01D5/241;G01P15/125;G01P21/00;G01V3/08;(IPC1-7):G01C19/00 主分类号 G01C19/00
代理机构 代理人
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