发明名称 CHEMICAL MECHANICAL POLISHING PAD CONDITIONER AND THE FABRICATION METHOD OF IT
摘要
申请公布号 KR20050073734(A) 申请公布日期 2005.07.18
申请号 KR20040001799 申请日期 2004.01.10
申请人 MEMSWARE 发明人 CHO, SOO JE
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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