发明名称 Etching mask using azobenzene compounds
摘要
申请公布号 KR100501247(B1) 申请公布日期 2005.07.18
申请号 KR20020020951 申请日期 2002.04.17
申请人 发明人
分类号 G03F1/80;G03F7/00;G03F7/021;(IPC1-7):G03F1/08 主分类号 G03F1/80
代理机构 代理人
主权项
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