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经营范围
发明名称
Etching mask using azobenzene compounds
摘要
申请公布号
KR100501247(B1)
申请公布日期
2005.07.18
申请号
KR20020020951
申请日期
2002.04.17
申请人
发明人
分类号
G03F1/80;G03F7/00;G03F7/021;(IPC1-7):G03F1/08
主分类号
G03F1/80
代理机构
代理人
主权项
地址
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