| 发明名称 |
METHOD FOR ETCHING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050073705(A) |
申请公布日期 |
2005.07.18 |
| 申请号 |
KR20040001551 |
申请日期 |
2004.01.09 |
| 申请人 |
HYNIX SEMICONDUCTOR INC. |
发明人 |
JANG, SEONG SOO;CHO, SUNG YOON |
| 分类号 |
H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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