沸石-溶胶凝胶体奈米复合低K介电ZEOLITE-SOL GEL NANO-COMPOSITE LOW K DIELECTRIC

摘要

本文描述一种形成溶胶凝胶体–沸石复合介电材料的方法。可将沸石颗粒散布于溶胶中以产生液体溶胶–沸石胶体。可将该液体溶胶沸石胶体沈积于一底层之上。可将该液体溶胶–沸石胶体形成为湿凝胶体–沸石复合物。可自该湿凝胶体–沸石复合物中萃取所有液体以形成气凝胶体–沸石复合物。然后可烧湿凝胶体–沸石复合物或气凝胶体–沸石复合物以冻结该复合材料结构。