摘要 |
本发明系提供一种热处理装置,其包含再循环加热流体的工具,其中在热处理期间系周期性地改变该加热流体的流动方向,该工具包含:一有至少第一与第二区之加热室;一带有一进气室与一出口导管之泵,其中该导管与进气室两者都与该加热室有流体交通;一座落在该泵之上游或下游之流体加热器;以及第一分流器工具,其可使加热流体通过出口导管流出该泵或通过该进气室进入该泵,以分别流向该加热室之一选定区域或离开该加热室之一选定区域。本发明进一步提供一种使用一热处理装置热处理电浆显示器面板或玻璃制品之方法,其包括通过一加热室再循环一加热流体的工具,其中:在热处理期间系周期性地改变该加热流体的流动方向。 |