电浆处理系统及电浆处理方法

摘要

本发明揭示一种以一电浆处理多个基板(26)之电浆处理系统(10)。该电浆处理系统之处理室(12)包括至少一对通常呈直立定向之电极(24)，且在该至少一对电极间置有一供作电浆处理之基板(26)。每一电极(24)包含一多孔板(42、50)，其允许水平处理气体及电浆之流动以改良电浆之均匀性。一处理方法被定义为可有效地移除例如溢料或屑之薄聚合物区域，而该薄聚合物区域系被附着在或突出自一聚合物基板(26)者。