| 摘要 |
本发明系有关于一种工件之表面抛光方法，其实施步骤包括：(a)、打磨元件与支持元件之结合：打磨之前，该打磨元件以一种永久固定的方法与一可变形之支持元件相互连接；(b)、施压塑型：施以压力于可变形之支持元件上，令打磨元件与欲打磨工件表面接触，使打磨元件与该欲打磨之工件表面呈一致性；(c)、抛光：驱动该与工件表面相互抵触呈一致性之打磨元件，即可达到工件之表面抛光精细度功效。透过上述可变形支持元件加热变形，待冷却后则会与欲打磨工件之表面呈相对应状，以提供打磨元件打磨所需支撑力道，达其更精密之工件表面抛光功效者。 |
