多项目晶圆服务系统及方法,及其电脑可读取媒体

摘要

一种多项目晶圆(MPW)服务系统及方法，至少包括保留给一第一群组装置设计之一第一多项目晶圆列车、保留给一第二群组装置设计之一第二多项目晶圆列车、与一检查单元。检查单元判断第一多项目晶圆列车之截止日期之前第一群组之光罩资料是否已经提供，且当截止日期之前第一群组中一第一标的装置设计之光罩资料没有提供，而第二群组中一第二标的装置设计之光罩资料已经提供时，将第一标的装置设计与第二标的装置设计相互交换。