发明名称 于输送时超高纯度产品储存槽的侦测
摘要 一用于输送及储存一产品之系统,且该系统系包括一含有圆柱壁段及两端的槽,其中该圆柱壁段及两端可定义一圆柱的槽周围,且其中该周围具有一内部及一外部。该系统系使用一包括一或更多侧壁,一底壁及一可移除和密封的顶盖之阀箱且该顶盖可附着于该一或更多侧壁以密封该阀箱且其中该阀箱侧壁可接合该圆柱侧壁。一或更多处理阀系置放在该阀箱内且其中每一阀具有一第一及一第二端且每一第一端系连接至一通穿过该阀箱之一壁的管以引导产品进入该槽及自该槽抽取该产品。一清净阀及压力量测装置系被组装成与该阀箱相流体连通。当该阀箱被密封时,在该槽内之产品系与围绕该槽的空气相隔绝。
申请公布号 TW200523484 申请公布日期 2005.07.16
申请号 TW093129850 申请日期 2004.10.01
申请人 气体产品及化学品股份公司 发明人 马拉低米尔 耶利 盖许太;罗伯 威廉 福特;约翰 佛兰得瑞克 塞基
分类号 F16C13/02 主分类号 F16C13/02
代理机构 代理人 陈展俊;林圣富
主权项
地址 美国