沈积环及应用此沈积环之支撑装置

摘要

一种沈积环，适用于薄膜沈积机台。此沈积环主要系由导电外环体与内环体所构成。其中，内环体系结合于导电外环体之内缘。而且，内环体之热膨胀系数系小于导电外环体之热膨胀系数。