微结构用之磨削元件及其制法与微结构之磨削加工方法

摘要

本发明系为一种微结构用之磨削元件及其制法与微结构之磨削加工方法，此微结构用之磨削元件具有两个距离小于五百微米且相互平行的平面，其截面积之长宽比较高，能承受较高之磨削接触力，且由于此磨削元件与一工件的一被磨削面具有大面积的依靠，故磨削时位置稳固不易偏离，并以此磨削元件的一加工缘上形成的复数个凹部，供复数个研磨粒在磨削加工时可被暂时抵住，大幅降低相对滑动之现象，因此本发明兼具磨削效率高、磨削位置之精确度提高、既不易断裂又能增加磨削稳定度以及磨削加工之极限宽度更窄之优点及功效。