| 摘要 |
本发明之课题系提供一种兼具有低电阻率、高耐热性的平面板显示器(FPD)用银基合金配线电极膜、以及用于形成该银基合金配线电极膜用之银基合金溅镀靶、以及具备该银基合金配线电极膜的平面板显示器。解决手段系本发明的平面板显示器用银基合金配线电极膜，在主动型平面板显示器的情况下，构成连接到用于驱动显示画面的TFT2上的配线电极膜3、4、5、6、7，该银基配线电极膜3、4、5、6、7由含有0.1～4.0at％的Nd、及／或0.01～1.5at％的Bi、剩余部分实质上由Ag构成的银基合金所形成，该银基合金除了Nd之外，还可以含有合计0.01～1.5at％的选自由Cu、Au、Pd构成的物质组中的一种或者两种以上元素。 |
