基板搬送装置及基板搬送方法、曝光装置及曝光方法、元件制造方法

摘要

为提供一基板搬送装置，可防止残留于经液浸曝光的基板上的液体所导致之元件性能劣化。基板搬送系统H，系供搬送透过投影光学系统PL与液体LQ来进行图案像曝光的基板P，其具备液体检测器80，供检测附着于基板P的液体LQ。