氧化铟-氧化锡粉末及使用该粉末之溅镀靶

摘要

本发明是提供一种可以便宜制造，可得高密度之溅镀靶，且可以延长溅镀靶寿命之氧化铟–氧化锡粉末及使用该粉末之溅镀靶。本发明之氧化铟–氧化锡粉末是以In–Sn氧化物为主成分之氧化铟–氧化锡粉末，其系以X线绕射检测不出间化合物In4 Sn3 O12，而由In2 O3(222)积分绕射强度及SnO2(110)积分绕射强度之比求出之SnO2析出量(质量％)所算出，且In2 O3中之SnO2固熔量为2.3质量％以上。