| 发明名称 |
PROCEDE D'OBTENTION D'UNE COUCHE TRES MINCE PAR AMINCISSEMENT PAR AUTO-PORTAGE PROVOQUE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2855910(B1) |
申请公布日期 |
2005.07.15 |
| 申请号 |
FR20030050207 |
申请日期 |
2003.06.06 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
MORICEAU HUBERT;LAGAHE CHRYSTELLE;BATAILLOU BENOIT |
| 分类号 |
H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/304;H01L21/265 |
主分类号 |
H01L21/762 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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