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发明名称 METHOD OF CORRECTING THE CRITICAL DIMENSION OF PATTERNS
摘要
申请公布号 KR20050073507(A) 申请公布日期 2005.07.14
申请号 KR20040056426 申请日期 2004.07.20
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 HUH, SUNG MIN;KIM, SUNG HYUCK;SHIN, IN KYUN
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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