Herstellungsverfahren für Dual-Workfunction-Logikbauelemente in vertikalen DRAM-Prozessen,申请号DE2003124491-传众专利搜索

发明名称	Herstellungsverfahren für Dual-Workfunction-Logikbauelemente in vertikalen DRAM-Prozessen
摘要
申请公布号	DE10324491(B4)	申请公布日期	2005.07.14
申请号	DE2003124491	申请日期	2003.05.30
申请人	INFINEON TECHNOLOGIES AG;IBM INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION, HOPEWELL JUNCTION	发明人	DIVAKARUNI, RAMACHANDRA;MALIK, RAIEEV;RENGARAJAN, RAIESH
分类号	H01L21/334;H01L21/8242;H01L27/108;H01L29/94;(IPC1-7):H01L21/824	主分类号	H01L21/334
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