| 发明名称 | 微型湿度传感器 | ||
| 摘要 | 本发明是一种用于湿度信号传感的微型湿度传感器，由衬底，氧化层、电容电极组成，氧化层设在衬底上，电容电极设在氧化层上方，在电容电极上设有电极引线，该电容电极为其材质适于标准CMOS加工工艺的电极，在电容电极上方及其间设有感湿介质层，在电容电极和与氧化层之间设有二氧化硅条，在感湿介质层与氧化层之间设有加热条，在加热条上设有加热条引线和。本发明采用铝电极梳状并联结构可以增加敏感电容值，消除了外界的干扰，提高湿度传感器的精度。利用聚酰亚胺作为感湿介质，灵敏度高，线性度、滞回特性好，长期可靠等优点。 | ||
| 申请公布号 | CN1210565C | 申请公布日期 | 2005.07.13 |
| 申请号 | CN03131859.2 | 申请日期 | 2003.06.12 |
| 申请人 | 东南大学 | 发明人 | 顾磊;黄庆安;秦明;张中平 |
| 分类号 | G01N27/22 | 主分类号 | G01N27/22 |
| 代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人 | 王之梓 |
| 主权项 | 1、一种用于湿度信号传感的微型湿度传感器，由衬底(106)，氧化层(104)、电容电极(101，102)组成，氧化层(104)设在衬底(106)上，电容电极(101，102)设在氧化层(104)上方，在电容电极(101，102)上设有电极引线(1011，1021)，该电容电极(101，102)为其材质适于标准CMOS加工工艺的电极，其特征在于在电容电极(101，102)上方及其间设有感湿介质层(107)，在电容电极(101，102)与氧化层(104)之间设有二氧化硅条(105)，在感湿介质层(107)与氧化层(104)之间设有加热条(103)，在加热条(103)上设有加热条引线(1031，1032)，电容电极(101，102)为梳形电极且交错设置，加热条(103)为梳形并联多晶硅层，在感湿介质层(107)与加热条(103)之间设有钝化层(1081)，在电容电极(101，102)与感湿介质层(107)之间设有钝化层(108)，衬底(106)接地，感湿介质层(107)为聚酰亚胺层。 | ||
| 地址 | 210096江苏省南京市四牌楼2号 | ||