显示装置及其制造方法与制造装置

摘要

本发明能够简易且正确地形成微小共振器构造。本发明的显示装置具有多个像素，通过两种以上波长的发射光进行彩色显示，各像素具有微小共振器构造，该微小共振器构造构成于：形成于基板侧的下部反射膜(110)；以及在下部反射膜(110)的上方与该下部反射膜间夹有有机发光组件层(120)而形成的上部反射膜(240)之间。下部反射膜(110)由金属薄膜所构成，且与有机发光组件层(120)之间具有作为第一电极(200)的机能的导电性共振间隔物层。导电性共振间隔物层为ITO等透明导电性金属氧化物层，且在不同的成膜室形成在发射波长不同的像素为互不相同的厚度。在有机发光组件层(120)获得的光通过经导电性共振间隔物层调整过光学长度的微小共振器构造而增强，而发射至外部。

主权项

1.一种具有多个像素并通过至少两种波长的发射光进行彩色显示的显示装置，其中：上述多个像素分别具有微小共振器构造，该微小共振器构造构成于：形成于基板侧的下部反射膜；以及在该下部反射膜的上方，与该下部反射膜之间夹有有机发光组件层而形成的上部反射膜之间；该下部反射膜由半透过性的金属薄膜所构成；该下部反射膜与上述有机发光组件层之间具有：可发挥提供电荷给上述有机发光组件层的电极的功能，且在每一像素具有单个图案的导电性共振间隔物层，该导电性共振间隔物层为透明导电性金属氧化物层，其厚度在发射不同波长的光的像素互不相同；及在上述有机发光组件层获得，并通过构成于该下部反射膜与该上部反射膜之间的上述微小共振器构造而增强的光由上述导电性共振间隔物层及该下部反射膜侧发射至外部。