薄膜体声波共振器阶梯滤波器及其接地方法

摘要

本发明涉及薄膜体声波共振器阶梯滤波器及其接地方法。一种FBAR阶梯滤波器，其在通带边缘附近的阻带可产生较已知接地FBAR阶梯滤波器为小的降级。为此目的，薄膜体共振器(FBAR)阶梯滤波器具有多个串联耦合的FBAR细件，各串联耦合的FBAR组件包括一上部金属电极及下部金属电极，及多个并联耦合的FBAR组件，各并联耦合的FBAR组件包括提供地面节点的一上部金属地面电极及一下部金属电极，薄膜体共振器(FBAR)阶梯滤波器具至少一电容器组件，其包括一上部金属电极及一下部金属电极，其中各电容器组件串联耦合于两地面节点之间，使得并联耦合的FBAR组件的电感耦合得以补偿。

主权项

1.一种薄膜体声波共振器(thin film bulk acoustic wave resonator，FBAR)阶梯滤波器，包括：提供于模具的多个串联耦合FBAR组件，每一串联耦合FBAR组件包括上部金属电极及下部金属电极；提供于该模具的多个并联耦合FBAR组件，每一并联耦合FBAR组件包括提供地面节点的上部金属地面电极及下部金属电极，至少一电容器组件提供于该模具，每一电容器组件包括上部金属电极及下部金属电极，其中每一电容器组件系串联耦合于两地面节点之间使得并联耦合FBAR组件的电感耦合被补偿。