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发明名称 INDUCTIVELY COUPLED PLASMA GENERATOR HAVING LOWER ASPECT RATIO
摘要
申请公布号 EP1552727(A1) 申请公布日期 2005.07.13
申请号 EP20020753264 申请日期 2002.07.26
申请人 PLASMART CO. LTD. 发明人 LEE, YONG-KWAN;JUNG, WON BONG;LEE, SANG WON;UHM, SAE HOON;LEE, DONG SEOK
分类号 H01J7/24;H01J37/32;H01L21/3065;H05H1/24;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/24 主分类号 H01J7/24
代理机构 代理人
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